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扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合,电子光学系统为扫描电镜提供的电子束,信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章,本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。
扫描电镜可以采集多种不同类型的信号用于成像和分析,其中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号是基本也是常见的两种信号类型。
不同厂家和型号的电镜在采集SE,BSE信号时所用的探测器都具有各自特的技术,但旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器在架构和工作原理方面相对固定,应用也很广泛,因此本文只会对旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器进行介绍。
指出,复杂氧化物、复杂夹杂物、复杂化合物中用“复杂”来形容D类非金属夹杂物不科学,“复杂”常被用来形容社会科学和人类生活的难易程度,很少用在术语的描述,用他形容这种D类非金属夹杂物的复杂程度即抽象又不确切,不能给出形貌和数据的概念;第二,叫复合夹杂物也值得商榷,“复合”是一种搀和的意思,复合夹杂物是一种混合物的概念,混合物带有机械混合之意,混合物内各组元的分布无规律;第三,叫复杂化合物也不妥,化合物是纯净物,由不同种元素组成的纯净物叫做化合物,并可以用一种化学式表示,而混合物则不是,也没有化学式。
蔡司热场发射扫描电子显微镜SIGMA 500采用Gemini电子束非交叉光路设计,突破了传统设计中电子束交叉三次造成能量扩散的限制。束流适中,大大降低了色差对成像质量的影响。镜头镜筒内置电子束加速器,无需切换减速模式即可实现的低电压成像。低20V可成像,样品类型不受限制。透镜镜筒物镜采用静电透镜和电磁透镜相结合的方式,在工作距离范围内没有磁场,可在高倍率下观察磁性材料。环形二次电子探测器In-Lens安装在镜筒的正光路上。圆柱形一体化超大样品室配备5轴全自动中心样品台,可容纳直径250mm的超大样品。同一品牌的电子显微镜和光学显微镜可以组合观察(可选),只有一个通用的样品架和配套的软件是Shuttle&Find,可以充分发挥光镜和电子镜各自的优势
蔡司解决方案在增材制造领域的应用范围覆盖粉末和材料分析,所使用的设备包括光学显微镜、扫描电镜、X射线技术。
使用光学显微镜来测试金属粉末的粒径分布
使用SEM扫描电镜对3D打印金属粉末的球形度和实心性进行分析
使用CT对粉末颗粒的宽高比和粒径进行分析
对于内部缺陷,蔡司的解决方案也能轻松检测,比如微裂纹、分层、疲劳裂纹、盈利、孔隙率、粉末残留物和气孔等。
蔡司 Lightsheet Z.1 恰恰能实现这一切。的多视角激光片层扫描显微成像系统(Light Sheet Microscopy)能够记录大型活体样品的发育过程,对样品低损伤地成像,提供更多的信息。
成像速度极快:Lightsheet Z.1 是一款能以极快速度获取光学切片的显微工具,可让您以亚细胞分辨率获得完整的样品图像,耗时却远少于采用其它技术所需的时间。