来源:北京瑞科中仪科技有限公司 时间:2025-03-22 22:43:25 [举报]
技术演进
1950年代:引入场离子显微镜(FIM),利用He+离子成像实现原子级分辨率
1980年代:结合质谱技术发展原子探针层析(APT)
21世纪:集成原位加热/冷却系统(温度范围4-1500 K)
关键技术参数
真空度:需维持<10^-8 Torr以防止气体电离干扰
针尖制备:曲率半径50-100 nm的单晶金属针尖
工作电压:1-20 kV(视材料功函数调整)
场发射显微镜(Field Emission Microscope, FEM)是20世纪30年代由德国科学家Ernst Müller发明的一种高分辨率表面分析技术。其核心原理基于量子力学中的场致电子发射效应,能够以原子级分辨率直接观察材料表面结构。作为早期表面科学研究的重要工具,FEM为后续场离子显微镜(FIM)和扫描隧道显微镜(STM)的发展奠定了基础。本文将系统阐述场发射显微镜的工作原理、仪器结构、关键技术及其在材料科学、纳米技术等领域的应用。
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