来源:北京瑞科中仪科技有限公司 时间:2024-05-20 12:04:05 [举报]
扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合,电子光学系统为扫描电镜提供的电子束,信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章,本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。
STEM探测器和经典的极靴下背散射电子探测器类似,一般也采用半导体材质,并分割为好几块,
其中一块位于样品的正下方,主要用于接收正透过样品的透射电子,即所谓的明场模式;还有的位于明场探测器的周围,接收经过散射的透射电子,即所谓的暗场模式。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。
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