扫描电镜可以采集多种不同类型的信号用于成像和分析,其中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号是基本也是常见的两种信号类型。
不同厂家和型号的电镜在采集SE,BSE信号时所用的探测器都具有各自特的技术,但旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器在架构和工作原理方面相对固定,应用也很广泛,因此本文只会对旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器进行介绍。
STEM探测器和经典的极靴下背散射电子探测器类似,一般也采用半导体材质,并分割为好几块,
其中一块位于样品的正下方,主要用于接收正透过样品的透射电子,即所谓的明场模式;还有的位于明场探测器的周围,接收经过散射的透射电子,即所谓的暗场模式。
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术,他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来,对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此,作者提出了非金属夹杂物的相结构概念,用“复相夹杂物”代替目前常用的“复杂夹杂物”或“复合夹杂物”,重新认识这个对钢性能有重要影响的D类非金属夹杂物,与业界同行商榷。
指出,复杂氧化物、复杂夹杂物、复杂化合物中用“复杂”来形容D类非金属夹杂物不科学,“复杂”常被用来形容社会科学和人类生活的难易程度,很少用在术语的描述,用他形容这种D类非金属夹杂物的复杂程度即抽象又不确切,不能给出形貌和数据的概念;第二,叫复合夹杂物也值得商榷,“复合”是一种搀和的意思,复合夹杂物是一种混合物的概念,混合物带有机械混合之意,混合物内各组元的分布无规律;第三,叫复杂化合物也不妥,化合物是纯净物,由不同种元素组成的纯净物叫做化合物,并可以用一种化学式表示,而混合物则不是,也没有化学式。
蔡司热场发射扫描电子显微镜SIGMA 500采用Gemini电子束非交叉光路设计,突破了传统设计中电子束交叉三次造成能量扩散的限制。束流适中,大大降低了色差对成像质量的影响。镜头镜筒内置电子束加速器,无需切换减速模式即可实现的低电压成像。低20V可成像,样品类型不受限制。透镜镜筒物镜采用静电透镜和电磁透镜相结合的方式,在工作距离范围内没有磁场,可在高倍率下观察磁性材料。环形二次电子探测器In-Lens安装在镜筒的正光路上。圆柱形一体化超大样品室配备5轴全自动中心样品台,可容纳直径250mm的超大样品。同一品牌的电子显微镜和光学显微镜可以组合观察(可选),只有一个通用的样品架和配套的软件是Shuttle&Find,可以充分发挥光镜和电子镜各自的优势
激光扫描共聚焦显微镜是在传统荧光显微镜成像的基础上采用激光作为光源,通过使用激光扫描装置和共轭聚焦装置,利用计算机对所观察的对象进行数字图像处理的现代化光学显微镜。它能以的分辨率采集细胞或组织内部的荧光标记图像、观察细胞或组织内部的微细结构和形态学变化、在亚细胞水平观察胞内重要离子浓度或 pH 的变化、结合电生理技术观察和记录细胞的生理活动。使用激光扫描共聚焦显微镜,还可以对观察样品进行断层扫描和成像、重构和分析细胞的三维空间结构。